在光學(xué)加工中，常采用單點(diǎn)金剛石刀頭切割光學(xué)表面。所以刀頭的形狀誤差或波紋度往往會(huì)影響光學(xué)表面。Talyrond 595H 高精度圓度測(cè)量系統(tǒng)可以通過(guò)測(cè)量形狀誤差來(lái)幫助改善刀頭的制造過(guò)程。

測(cè)量時(shí)刀頭須向上傾斜裝夾，使刀頭的圓柱形切削面平行于圓度儀立柱(如圖1和2所示)。切削面的圓柱中心名義上對(duì)齊主軸中心，并使用部分圓度測(cè)量的自動(dòng)程序精確調(diào)整零件中心，使其相對(duì)于主軸的偏心小于0.3μm。
隨著工件精確找正，Talyrond 595H的高精度空氣軸承主軸帶動(dòng)刀頭旋轉(zhuǎn)，測(cè)針通過(guò)切割掃描，傳感器每0.005度采集一個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。這種計(jì)量方法使用了回轉(zhuǎn)精度為0.015μm的精密測(cè)量軸，以實(shí)現(xiàn)刀頭和鉆石或紅寶石測(cè)針之間的單點(diǎn)接觸。

Talyrond 595H 高精度圓度測(cè)量系統(tǒng)---概述

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Talyrond 595H的所有軸都經(jīng)過(guò)精密加工，加強(qiáng)了軟件自動(dòng)更正功能，讓TR595H擁有了直線度和圓度精確度。調(diào)心和調(diào)平操作臺(tái)配有高分辨率電機(jī)，進(jìn)一步加強(qiáng)了精度和全自動(dòng)設(shè)置目標(biāo)功能。 該系統(tǒng)配有的Talymin 5傳感器測(cè)量能力能夠達(dá)到納米級(jí)別，同時(shí)自動(dòng)橫臂機(jī)制能夠提供多功能化確保能夠測(cè)量難以達(dá)到的部分。TR595H配置的主動(dòng)抗振控制托架確保了不受外界環(huán)境影響的測(cè)量環(huán)境，保證測(cè)量環(huán)境接近生產(chǎn)過(guò)程。 ? 全自動(dòng)軸臂橫向和縱向機(jī)制 ? 軸臂、立柱和主軸校準(zhǔn)自動(dòng)校準(zhǔn) ? 自動(dòng)傳感器校準(zhǔn) ? 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um ? 傳感器分辨率0.3 nm ? 主動(dòng)隔震和環(huán)境隔離系統(tǒng)